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我國濺射靶材自主可控發(fā)展的經(jīng)驗及啟示

發(fā)布時間:2024-03-17 20:43:06 瀏覽次數(shù) :

濺射靶材是濺射過程中高速度能的離子束轟擊的目標材料,是沉積電子薄膜的原材料。濺射靶材是平板顯示、記錄媒體、太陽能電池和半導(dǎo)體這四大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域生產(chǎn)所需的關(guān)鍵核心材料之一,具有極高的附加值。濺射靶材屬于市場規(guī)模有限、長期被日美寡頭壟斷并封鎖的高技術(shù)領(lǐng)域。十余年來,我國通過產(chǎn)業(yè)政策引導(dǎo)、科技專項扶持、資本助力等全方位部署,得以突破靶材關(guān)鍵核心技術(shù),實現(xiàn)少數(shù)企業(yè)成功進入全球知名半導(dǎo)體芯片及平板顯示器制造商的供應(yīng)鏈體系。本文通過對我國濺射靶材行業(yè)進行調(diào)研,分析高技術(shù)產(chǎn)品自主研發(fā)和生產(chǎn)中存在的共性問題,以期對于解決諸多“規(guī)?!夹g(shù)”非對稱性行業(yè)“卡脖子”問題提出對策建議及啟示。

一、我國濺射靶材自主可控發(fā)展情況

(一)日美歐少數(shù)跨國企業(yè)

寡頭壟斷全球濺射靶材市場,且長期對我國實施技術(shù)封鎖受益于太陽能、集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,2017—2021年全球靶材市場規(guī)模維持年均14%的增長率,2021年全球靶材市場規(guī)模約為213億美元。全球濺射靶材的研發(fā)及生產(chǎn)主要集中在美國普萊克斯和霍尼韋爾、日本JX金屬商事株式會社和東曹株式會社等少數(shù)巨頭公司,這些巨頭長期壟斷全球約80%的靶材市場份額。美日歐通過技術(shù)封鎖和資本控制,全面控制產(chǎn)業(yè)鏈和供應(yīng)鏈,擁有整個產(chǎn)業(yè)絕對的話語權(quán)和定價權(quán)。

(二)我國政策、科技、資本全方位助力,加速靶材本地化進程,實現(xiàn)靶材國產(chǎn)化“從0到1”的跨越

為了實現(xiàn)靶材關(guān)鍵核心技術(shù)自主,搶占材料前沿制高點,國家和重點區(qū)域持續(xù)出臺一系列支持濺射靶材行業(yè)發(fā)展的政策,為行業(yè)快速發(fā)展營造良好成長環(huán)境(見表1)。國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(“863計劃”)、國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(“02專項”)等科研與產(chǎn)業(yè)化項目進行專項支持。同時,推動多層次資本市場助力行業(yè)內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先企業(yè)實現(xiàn)上市融資,有效保障企業(yè)研發(fā)費用長效投入所需資金。國內(nèi)靶材市場規(guī)模從2016年的177億元增長至2020年的337億元,年增長率保持在17%。全球市場份額占比不斷提高,從2014年的約10%提升至2019年的約19%(數(shù)據(jù)來源:SEMI根據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)測算)。國產(chǎn)化程度不斷提升,太陽能電池領(lǐng)域的靶材技術(shù)門檻低于半導(dǎo)體和平板顯示領(lǐng)域,已基本實現(xiàn)國產(chǎn)自主可控,主要平板顯示器靶材國產(chǎn)化供應(yīng)比例超過50%。

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我國已培育少數(shù)專業(yè)從事高性能濺射靶材研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè),不斷彌補國內(nèi)同類產(chǎn)品的技術(shù)空白,縮小與日美競爭對手的差距。江豐電子(半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域靶材為主)、有研新材(半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域靶材為主)、阿石創(chuàng)(平板顯示領(lǐng)域靶材為主)、隆華節(jié)能(平板顯示領(lǐng)域靶材為主)等上市企業(yè)已成功開發(fā)出一批能適應(yīng)高端應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材。國產(chǎn)產(chǎn)品已進入臺積電、格羅方德、意法半導(dǎo)體、中芯國際、東芝、海力士、京東方、SunPower等國內(nèi)外知名廠商供應(yīng)商生態(tài)體系中(見圖1)。

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圖1 國內(nèi)靶材供應(yīng)廠商準入下游客戶

(三)圍繞產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈,產(chǎn)業(yè)鏈逐步實現(xiàn)向中高端發(fā)展

靶材領(lǐng)軍企業(yè)經(jīng)過20年從無到有的發(fā)展,持續(xù)提升創(chuàng)新鏈科技供給,推動產(chǎn)業(yè)蝶變升級,向產(chǎn)業(yè)鏈上下游延伸,逐步提升產(chǎn)業(yè)價值。江豐電子聯(lián)合哈爾濱工業(yè)大學(xué)等科研院校全面布局上游原材料領(lǐng)域,實現(xiàn)高純鋁、鈦材料的自主供應(yīng)。有研億金構(gòu)建從超高純原材料到濺射靶材、蒸發(fā)膜材垂直一體化研發(fā)和生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)化平臺。阿石創(chuàng)與鄭州大學(xué)何季麟院士團隊合作開發(fā)“平板顯示用高性能ITO靶材關(guān)鍵技術(shù)及工程化”項目。阿石創(chuàng)重點發(fā)展智能制造能力,實現(xiàn)PVD鍍膜材料全流程智能化、數(shù)字化。同時,針對我國半導(dǎo)體設(shè)備零部件及耗材國產(chǎn)化水平極低的現(xiàn)狀,江豐電子聯(lián)合國內(nèi)設(shè)備廠家研制靶材生產(chǎn)、檢測的關(guān)鍵設(shè)備,實現(xiàn)對北方華創(chuàng)、沈陽拓荊等國內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備公司供貨。隆華科技瞄準全球產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新前沿,開發(fā)出多項光伏電池靶材技術(shù),其無銦靶材取得突破進展、鈣鈦礦電池用靶材處于供貨測試階段。

(四)濺射靶材在高端集成電路領(lǐng)域距離完全自主仍有較大差距

近年來半導(dǎo)體芯片的集成度越來越高,半導(dǎo)體領(lǐng)域靶材呈現(xiàn)多品種、高門檻、定制化研發(fā)的特點,從而對濺射靶材金屬材料純度、內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)等提出嚴苛的標準。當(dāng)前,集成電路鈷靶材國內(nèi)有研究和生產(chǎn)基礎(chǔ),銅鉬、銅鋁、鈦鋁、鎢靶材國外相對壟斷,28nm制程所需金屬靶材實現(xiàn)部分國產(chǎn)化替代,仍有若干種未開發(fā)。江豐電子2022年中期報告披露,5nm技術(shù)節(jié)點靶材樣品正在臺積電、中芯國際、海力士、聯(lián)華電子等客戶端驗證中,距離批量供貨仍有很長距離。

二、我國濺射靶材科技自主可控發(fā)展中存在的問題

(一)濺射靶材短期內(nèi)無法突破國外廠商設(shè)定的技術(shù)壁壘,本質(zhì)原因在于相關(guān)領(lǐng)域基礎(chǔ)研究的長期缺失

美日靶材企業(yè)具有完備的上下游技術(shù)垂直整合能力,控制著全球高端電子制造用靶材的主要市場。我國雖然擁有各類基礎(chǔ)礦產(chǎn)資源,但是受制于金屬提純相關(guān)基礎(chǔ)研究的長期缺失,大部分濺射靶材生產(chǎn)用高純金屬仍然需要從國外進口,嚴重阻礙了我國靶材高端應(yīng)用。以鋁靶材高純金屬為例,三層電解精煉法早在1901年由美國首先提出,1932年法國開發(fā)出99.99%精鋁生產(chǎn)工藝,1941年日本住友化學(xué)實現(xiàn)批量化生產(chǎn)。受制于三層電解基礎(chǔ)研究薄弱,我國最大的超純鋁生產(chǎn)企業(yè)眾和股份反饋,純度在5N以上超純鋁靶基材中部分反偏析元素和難偏析元素得不到有效控制,造成超純鋁靶基材質(zhì)量與國際先進水平存在較大差距。

(二)供應(yīng)鏈下游終端客戶認證過程苛刻,認證技術(shù)壁壘高,準入周期長,不確定因素多

濺射靶材產(chǎn)品質(zhì)量、性能指標直接決定終端產(chǎn)品的品質(zhì)和穩(wěn)定性,因此,濺射靶材行業(yè)存在嚴格的供應(yīng)商認證機制,只有通過嚴格的行業(yè)性質(zhì)量管理體系認證,同時滿足下游客戶的質(zhì)量標準和性能要求,才能成為合格供應(yīng)商。下游客戶對濺射靶材供應(yīng)商的認證過程主要包括供應(yīng)商初評、產(chǎn)品報價、樣品檢測、小批量試用、穩(wěn)定性檢測、批量生產(chǎn)等多個階段,認證過程極為苛刻,靶材整個認證大約需六個月到兩年時間。我國供應(yīng)商需要在技術(shù)水平、產(chǎn)品質(zhì)量、后續(xù)服務(wù)和供應(yīng)價格等方面顯著超過原有供應(yīng)商,才有可能獲取業(yè)務(wù)合作機會。實際的認證準入過程更為艱難,由于靶材供應(yīng)鏈上下游缺乏整體有效的戰(zhàn)略合作,下游出于對自身利益的考慮,以及對國產(chǎn)產(chǎn)品可靠性的擔(dān)憂,實際執(zhí)行的供應(yīng)商和產(chǎn)品認證機制更為嚴苛,上游能獲取的有效反饋數(shù)據(jù)極為有限,不利于國產(chǎn)靶材工藝優(yōu)化、質(zhì)量提升、批量化生產(chǎn)。

(三)“多品種、小批量”的生產(chǎn)特點,使得靶材生產(chǎn)企業(yè)呈現(xiàn)“生產(chǎn)研發(fā)投入高、行業(yè)利潤空間受擠壓、融資難度大”等經(jīng)營特征

受終端客戶定制化產(chǎn)品需要影響,靶材生產(chǎn)呈現(xiàn)“多品種、小批量”的特點,使得研發(fā)和生產(chǎn)成本較高。同時,建造現(xiàn)代化生產(chǎn)廠房和實驗室資金投入大,需要引進國外先進的研發(fā)生產(chǎn)設(shè)備和精密的檢驗測量儀器,根據(jù)《江豐電子招股說明書》披露的數(shù)據(jù),年產(chǎn)5.2萬個超大規(guī)模集成電路用超高純金屬濺射靶材產(chǎn)業(yè)化項目總投資額為10億元,其中設(shè)備投資占比達到30%以上。

我國靶材行業(yè)持續(xù)資金投入能力薄弱。行業(yè)綜合毛利率基本在20%~25%之間,作為高端半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用產(chǎn)品,半導(dǎo)體靶材產(chǎn)品毛利率約為30%。而國外靶材生產(chǎn)企業(yè)多為國際巨頭企業(yè),靶材只是多元化發(fā)展業(yè)務(wù)之一,產(chǎn)品綜合毛利率在30%以上,公司凈利潤率均在10%以上,經(jīng)營抗風(fēng)險能力較強。同時,受原材料價格波動影響,盈利能力不確定性增加。行業(yè)發(fā)展初期研發(fā)與經(jīng)營風(fēng)險不確定性大,傳統(tǒng)金融支持力度不足,風(fēng)險投資青睞程度低,專利等無形資產(chǎn)創(chuàng)新融資難度較大,主要靠政府補貼,非經(jīng)常性損益占當(dāng)期利潤總額比例高,可持續(xù)發(fā)展面臨較大困難。

(四)現(xiàn)有風(fēng)險補償機制對于推廣應(yīng)用自主可控產(chǎn)品帶來的潛在系統(tǒng)風(fēng)險覆蓋不足、效果不佳

在靶材的供應(yīng)鏈體系中,濺射靶材約占芯片制造材料市場的2.6%,占封裝測試材料市場的2.7%(數(shù)據(jù)來源:SEMI統(tǒng)計),靶材供應(yīng)商需要承擔(dān)國產(chǎn)替代潛在風(fēng)險帶來的重大損失。當(dāng)前的風(fēng)險補償機制主要是覆蓋應(yīng)用方的經(jīng)濟損失,對于因使用國產(chǎn)技術(shù)自主開發(fā)的產(chǎn)品可能引發(fā)的系統(tǒng)性安全風(fēng)險無法覆蓋,從而導(dǎo)致政策效果不佳,嚴重制約我國自主研發(fā)產(chǎn)品在應(yīng)用端的推廣使用。

(五)滯后的人才培養(yǎng)導(dǎo)致行業(yè)人才匱乏,國際化人才引進受大國競爭影響面臨較大不確定性

美國、日本的跨國集團長期把持著核心技術(shù)和關(guān)鍵設(shè)備,國內(nèi)濺射靶材起步較晚,滯后的人才培養(yǎng)導(dǎo)致行業(yè)人才匱乏。濺射靶材研發(fā)和制造需要大批具有深厚專業(yè)背景、豐富實踐經(jīng)驗的高層次技術(shù)人才。從與江豐電子的交流中獲悉,其核心團隊中有多位具有金屬材料、集成電路及平板顯示制造專業(yè)背景和豐富產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗的歸國博士、日籍專家,對于實現(xiàn)靶材自主研發(fā)起到關(guān)鍵作用。

要開發(fā)出滿足下游客戶需求的產(chǎn)品,研發(fā)人員不僅要求具備復(fù)合型專業(yè)知識結(jié)構(gòu)和較強學(xué)習(xí)能力,對行業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢有準確把握,還需要在實際工藝環(huán)境中長期積累應(yīng)用經(jīng)驗,深刻理解生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵技術(shù)。同時,公司產(chǎn)品在銷售給客戶后,需要經(jīng)驗豐富的工程師提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù),對產(chǎn)品逐步完善。

三、濺射靶材自主可控發(fā)展對于解決“卡脖子”問題的啟示

在中美博弈的大背景下,諸如靶材這類行業(yè)的自主可控成為實現(xiàn)我國科技自立自強的重要組成部分。我們要高度重視“安全—規(guī)?!夹g(shù)”非對稱性,積極創(chuàng)新發(fā)展組織模式,發(fā)揮市場規(guī)模優(yōu)勢,釋放國產(chǎn)化需求,拉動供給端創(chuàng)新發(fā)展,形成大中小民營企業(yè)融通發(fā)展的創(chuàng)新生態(tài),以自主創(chuàng)新鏈保障安全穩(wěn)定的產(chǎn)業(yè)鏈,充分發(fā)揮資金鏈和人才鏈對于產(chǎn)業(yè)鏈的支撐作用,構(gòu)建社會主義市場經(jīng)濟條件下的關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)新型舉國體制。

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(一)以新視野、新觀念、新思維構(gòu)建大中小企業(yè)融通發(fā)展的創(chuàng)新生態(tài)

創(chuàng)新技術(shù)研發(fā)組織模式,充分發(fā)揮龍頭骨干企業(yè)的帶頭作用,構(gòu)建以技術(shù)積累與創(chuàng)新為主的中小企業(yè)為內(nèi)核的更加開放的創(chuàng)新生態(tài)系統(tǒng)。推動大中小企業(yè)基于產(chǎn)業(yè)鏈、資金鏈、創(chuàng)新鏈融通發(fā)展,實現(xiàn)互補協(xié)同的產(chǎn)業(yè)融合發(fā)展體系,有效提升重點領(lǐng)域的價值鏈位置。學(xué)習(xí)借鑒靶材自主可控實現(xiàn)過程中好的做法,鼓勵行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)牽頭成立聯(lián)合體,圍繞重點領(lǐng)域研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,解決關(guān)鍵核心技術(shù),實現(xiàn)技術(shù)到市場的突破。鼓勵靶材上中下游的企業(yè)成立企業(yè)戰(zhàn)略聯(lián)盟,設(shè)立各環(huán)節(jié)試點企業(yè),協(xié)調(diào)推進國產(chǎn)化替代。同時鼓勵主導(dǎo)企業(yè)加強同上下游合資,以資產(chǎn)為紐帶或簽訂長期協(xié)議,風(fēng)險共擔(dān),共同走向市場。

(二)發(fā)揮市場規(guī)模優(yōu)勢,打通堵點,釋放需求,拉動供給端創(chuàng)新發(fā)展

靶材行業(yè)長達20年的自主發(fā)展實踐證明,我國要快速培育一批專業(yè)領(lǐng)域的冠軍企業(yè),必須通過需求端的市場釋放,拉動供給端的創(chuàng)新發(fā)展。面對外部環(huán)境變化帶來的新挑戰(zhàn),應(yīng)立足我國產(chǎn)業(yè)規(guī)模優(yōu)勢、配套優(yōu)勢和部分領(lǐng)域先發(fā)優(yōu)勢,打通生產(chǎn)、分配、流通、消費各環(huán)節(jié)堵點,推動重點核心產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)上下游供應(yīng)鏈多元化配套合作。產(chǎn)業(yè)鏈中主導(dǎo)企業(yè)和供應(yīng)鏈鏈主企業(yè)要增強憂患意識、樹立底線思維,以備份思維和行動釋放一部分需求,采購和使用部分國產(chǎn)零部件和原材料,給予國內(nèi)企業(yè)在重要產(chǎn)品和關(guān)鍵核心技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用機會,有效防范化解極端情況下供應(yīng)短缺帶來風(fēng)險挑戰(zhàn)。

(三)加大對科技保險的創(chuàng)新力度,建立自主創(chuàng)新容錯免責(zé)機制

2021年10月,我國18家財產(chǎn)險公司、再保險公司共同組建集成電路共保體,2022年上半年共保體為長江儲存、中芯國際等12家集成電路企業(yè)提供保險保障5903億元。面對靶材行業(yè)發(fā)展中風(fēng)險補償機制不完善等問題,可以推廣集成電路共保體模式經(jīng)驗,進一步探索關(guān)鍵技術(shù)“卡脖子”問題的新型風(fēng)險保障需求,助力構(gòu)建戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)自主、安全、可控的產(chǎn)業(yè)鏈。在關(guān)系國家產(chǎn)業(yè)安全的重要領(lǐng)域,國家試行出臺專項的免責(zé)機制和容錯機制,針對在應(yīng)用推廣過程中因非人為責(zé)任造成的直接損失和間接損失,設(shè)置保險基金保障機制。同時,減輕終端用戶推廣使用國產(chǎn)化產(chǎn)品的經(jīng)濟責(zé)任和政治責(zé)任,營造開放包容的創(chuàng)新氛圍。

(四)加強科研院所、高校與企業(yè)產(chǎn)學(xué)研緊密合作,解決國內(nèi)企業(yè)在研發(fā)過程中缺乏基礎(chǔ)研究支撐的問題

受制于技術(shù)封鎖,我國引進國外技術(shù)的難度日益加大,企業(yè)亟須開展應(yīng)用基礎(chǔ)研究,解決發(fā)展中面臨的技術(shù)瓶頸,并為開發(fā)新一代產(chǎn)品提供技術(shù)儲備。然而,國內(nèi)有能力從事基礎(chǔ)研究的人才主要集中在高校和公立科研院所。應(yīng)著力打通科研院所基礎(chǔ)研究在解決企業(yè)應(yīng)用問題過程中存在的堵點、難點,引導(dǎo)各個創(chuàng)新主體之間信息、知識以及智力等要素的橫向流動與合理配置,提升創(chuàng)新體系的整體效能。學(xué)習(xí)借鑒靶材領(lǐng)軍企業(yè)產(chǎn)學(xué)研合作中的實踐經(jīng)驗,有效推進產(chǎn)學(xué)研一體化,加強專項領(lǐng)域創(chuàng)新聯(lián)合體建設(shè),開展關(guān)鍵核心技術(shù)聯(lián)合攻關(guān)。鼓勵高??蒲泄ぷ髡唠A段性進駐企業(yè)、掛職企業(yè),深入?yún)⑴c企業(yè)技術(shù)研發(fā),幫扶企業(yè)提升基礎(chǔ)研究能力。建設(shè)新型研發(fā)機構(gòu),鏈接企業(yè)需求和技術(shù)攻關(guān),為“卡脖子”技術(shù)提供持續(xù)源動力。

(五)構(gòu)建全國統(tǒng)一的知識產(chǎn)權(quán)交易平臺,加快推進知識產(chǎn)權(quán)質(zhì)押融資

2021年11月15日國家知識產(chǎn)權(quán)局頒布《專利權(quán)質(zhì)押登記辦法》,2022年全年專利商標質(zhì)押融資金額首次突破4000億元。四家領(lǐng)軍靶材企業(yè)(江豐電子、有研新材、阿石創(chuàng)、隆華節(jié)能)擁有的專利數(shù)量達到1700多項,實際知識產(chǎn)權(quán)質(zhì)押融資僅30項,也只是傳統(tǒng)信貸及法人擔(dān)保融資附屬條件。建議在當(dāng)前各省知識產(chǎn)權(quán)交易中心實踐基礎(chǔ)上,建立全國范圍內(nèi)統(tǒng)一、規(guī)范的知識產(chǎn)權(quán)交易平臺,打通各省知識產(chǎn)權(quán)交易信息“孤島”??偨Y(jié)發(fā)達區(qū)域經(jīng)驗,因地制宜推動地方政府主導(dǎo)、知識產(chǎn)權(quán)運營機構(gòu)主導(dǎo)、保險機構(gòu)主導(dǎo)、商業(yè)銀行主導(dǎo)四類知識產(chǎn)權(quán)質(zhì)押典型模式。加大政策支持力度,加強銀行與知識產(chǎn)權(quán)服務(wù)機構(gòu)合作,多維促進知識產(chǎn)權(quán)業(yè)務(wù)快速發(fā)展。促進企業(yè)自主創(chuàng)新,加速科技成果轉(zhuǎn)化,促進產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、資金鏈的融合發(fā)展。

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(六)重視技術(shù)人才的內(nèi)培外引,實現(xiàn)人才鏈與產(chǎn)業(yè)鏈深度融合發(fā)展

以支撐科技自立自強為目標,在基礎(chǔ)研究和“卡脖子”問題領(lǐng)域,注重人才的引進與培養(yǎng)相結(jié)合。以靶材四家領(lǐng)軍企業(yè)為例,研發(fā)人員占到總?cè)藬?shù)的40%以上,第一塊國產(chǎn)靶材是國際關(guān)鍵技術(shù)專家?guī)е夹g(shù)和創(chuàng)業(yè)團隊回到國內(nèi)研發(fā)出來的。面對當(dāng)前錯綜復(fù)雜的國際形勢,既要大膽引進國外高層次技術(shù)人才,也要加強自主培養(yǎng)人才,形成既有中國特色又有國際比較優(yōu)勢的產(chǎn)業(yè)技術(shù)人才發(fā)展機制。充分發(fā)揮科技領(lǐng)軍企業(yè)與科研院所技術(shù)力量,通過校企雙方深度融合,出臺有針對性的技術(shù)人才激勵與培養(yǎng)政策,加快產(chǎn)業(yè)鏈上下游各技術(shù)領(lǐng)域人才集聚,培養(yǎng)兼具專業(yè)背景和產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗的強大人才隊伍。做好我國戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)急需緊缺技術(shù)人才盤點,對標發(fā)達國家高層次技術(shù)人才引進政策,健全完善海外高層次技術(shù)人才引進政策體系,對引進人才在承擔(dān)重大科技項目等方面提供支持。加大國內(nèi)科技領(lǐng)軍企業(yè)引進國際高端技術(shù)人才補助,完善高端技術(shù)人才出入境、醫(yī)療、住房、稅收、子女教育、配偶就業(yè)等一攬子服務(wù)體系。

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