91九色最新国产在线观看,国内自拍偷国视频系列,深夜黄色刺激影片在线免费观看,中文字幕高清不卡视频二区,熟妇人妻精品一区二区视频免费的,美女视频在线观看网址大全,中文字幕丰满人妻av,蜜桃精品视频一二三区,中文字幕av熟女中文av,国产性虐视频在线观看

阿里店鋪|凱澤店鋪|凱澤順企網(wǎng)|凱澤靶材店鋪   寶雞市凱澤金屬材料有限公司官網(wǎng)!
全國服務(wù)熱線

0917-337617013759765500

微信客服 微信客服

首頁 >> 新聞資訊 >> 行業(yè)資訊

芯片鍍膜領(lǐng)域用磁控濺射靶材性能要求

發(fā)布時(shí)間:2023-05-10 09:24:19 瀏覽次數(shù) :

目前的情況下,濺射靶材的制造以及磁控濺射技術(shù)和工藝水平下,薄膜的沉積工藝中依然有一些常見的異常缺陷,研究如何解決這些缺陷,不僅可以提高芯片的良率,更重要是可以保證芯片功能的完備從而降低芯片失效的風(fēng)險(xiǎn)。濺射靶材對(duì)濺鍍的薄膜性能有著直接的影響,表現(xiàn)在:濺射速率(deposition rate),薄膜厚度均勻性(uniformity)、方塊電阻(Rs)、薄膜厚度(thickness)以及光學(xué)性質(zhì)反射率(reflectivity)以及薄膜刻蝕速率(etch rate)和薄膜顆粒缺陷(particle)等。濺射靶材與濺鍍薄膜的關(guān)系主要體現(xiàn)在:靶材的合金元素以及雜質(zhì)含量直接影響薄膜成分;靶材的晶粒度與織構(gòu)影響濺射速率以及薄膜的厚度和厚度均勻性;靶材的內(nèi)部缺陷會(huì)導(dǎo)致異常放電(arcing);靶材與背板的電阻性能會(huì)影響輸出電壓電流的表現(xiàn),靶材表面的形狀會(huì)影響與磁鐵和晶圓的間距從而影響濺射速率,因此,濺射靶材對(duì)于金屬互連線以及阻擋層的性能有非常關(guān)鍵的影響。

1、濺射靶材特性對(duì)沉積速率的影響

濺射功率與濺射速率成正比關(guān)系,濺射功率越小,濺射速率則越小,反之越大。氣壓在一定范圍內(nèi),與濺射速率為反比的關(guān)系,即壓力越小,濺射速率越大,反之越小。濺射靶材的材料性能對(duì)濺射速率主要有以下幾個(gè)方面的影響: 靶材材料純度:材料純度越高,其內(nèi)部缺陷越少,致密性越好,對(duì)濺射速率影響越大。

靶材

靶材硬度:一般來說靶材硬度最大,則濺射速率越慢。靶材硬度是受靶材雜質(zhì)含量以及變形與熱處理工藝決定。 靶材的晶粒度與織構(gòu):在同一材料中,靶材的晶粒尺寸與晶粒取向?qū)Τ练e速率有著重要的影響,而材料不同,其具體晶粒度與取向?qū)R射速率有著不盡相同的影響,本文重要研究Ta靶材的晶粒與織構(gòu)的控制及其對(duì)沉積速率的影響。

2、濺射靶材特性對(duì)濺鍍出薄膜厚度均勻性的影響

薄膜厚度均勻性的控制與優(yōu)化是磁控濺射鍍膜的研究重點(diǎn)之一,在整個(gè)晶圓內(nèi)薄膜厚度的分布是對(duì)金屬配線功能有著重要影響的參數(shù)。半導(dǎo)體鍍膜、光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜等領(lǐng)域,尤其是先進(jìn)工藝的濺射薄膜,都對(duì)薄膜的厚度均勻性有著非常嚴(yán)格的要求。可以通過調(diào)整靶材與晶圓之間的距離以及增加磁鐵來優(yōu)化薄膜厚度的均勻性來制備大面積且均勻性好的薄膜。但是靶材本身的晶粒度與織構(gòu)也對(duì)濺射速率以及濺鍍薄膜的厚度和均勻性有著非常重要的影響。因此研究靶材的晶粒度與織構(gòu)的控制及其對(duì)薄膜厚度和均勻性的影響,是十分有意義的。

3、濺射靶材特性對(duì)晶圓顆粒缺陷和良率的影響

薄膜顆粒缺陷是半導(dǎo)體制造的頭號(hào)大敵,顆粒缺陷對(duì)良率有著直接的影響,這也是半導(dǎo)體制造廠商斥巨資建立高潔凈度凈化室的原因,在芯片制造的數(shù)千道工藝中,任何一步都要對(duì)顆粒進(jìn)行嚴(yán)格管控,任何一步發(fā)生的大量顆粒缺陷,都可能導(dǎo)致大量的芯片報(bào)廢,隨著工藝越來越先進(jìn),對(duì)顆粒缺陷有著更加嚴(yán)格的要求,在實(shí)際芯片制造中,如在40-45nm工藝中,在整片晶圓內(nèi),大于0.16μm的顆粒缺陷需小于5顆。芯片制造過程中,顆粒缺陷主要來源于環(huán)境、機(jī)臺(tái)的潔凈度與真空度、機(jī)臺(tái)的老化等方面外,還受濺射靶材缺陷或者尖端放電的影響。

4、濺射靶材特性對(duì)芯片電性能參數(shù)及可靠性的影響

芯片制造完成后,電性能參數(shù)的穩(wěn)定性直接影響了芯片功能的實(shí)現(xiàn),而濺射靶材直接影響了電性能參數(shù)中的電阻、電流表現(xiàn),最主要的是受濺射靶材本身的成分、濺射沉積出的薄膜的厚度和均勻性影響。另外,金屬互連線的老化、短路等都極大影響著芯片功能的可靠性。最常見的案例是金屬導(dǎo)線的電遷移導(dǎo)致的可靠性失效,所以濺射靶材的材料成分控制對(duì)芯片可靠性有著重要的意義。

相關(guān)鏈接

Copyright ? 2022 寶雞市凱澤金屬材料有限公司 版權(quán)所有    陜ICP備19019567號(hào)    在線統(tǒng)計(jì)
? 2022 寶雞市凱澤金屬材料有限公司 版權(quán)所有
在線客服
客服電話

全國免費(fèi)服務(wù)熱線
0917 - 3376170
掃一掃

kzjsbc.com
凱澤金屬手機(jī)網(wǎng)

返回頂部
亚洲一区二区三区香蕉| 亚洲av无码码潮喷在线观看| 精品国产一区二区三区av| 中出人妻希奇杰卡西av| 国产精品一区二区三区专区| 国产一区二区视频免费| 丁香婷婷激情俺也去俺来也| 亚洲精品国产精品系列| 中文字幕一区二区三区喷水| 亚洲一区二区一区二区免费视频| 强d漂亮少妇高潮在线观看| 国产一区二区内射最近人| 亚洲中文字幕黄色小视频| 国产精品久久久久久久久鸭| 女人与牲口性恔配视频免费| 日本少妇爽的大叫高潮了| 国产精品毛片大尺度激情| 狼人狠狠干首页综合网| 五月综合丁香婷婷久久| 视频区一区二在线观看| 老熟妇嗷嗷叫91九色| 女同在线网站免费观看| 国产精品熟女视频一区二区三区 | 国产一区二区av在线免费观看| 在线成人影院国产av| 日本久久久精品免费免费理论| 国产美女高潮流白浆视频| 日韩人妻系列在线观看| 久久精品国产亚洲av麻豆会员| 公与淑婷厨房猛烈进出| 亚洲色中文字幕无码av| 精品久久久久成人码免费动漫| 无码午夜成人1000部免费视频| 日本老熟妇乱| 国产香蕉国产精品偷在线 | 日本最新免费二区| 男女性杂交内射妇女bbwxz| 人妻少妇中文字幕乱码| 国产精品毛片久久久久久久| 亚洲精品无码不卡av| 国产av大片在线观看|