一、產(chǎn)品名稱:鉻靶材、鉻靶塊
凱澤金屬鉻靶材規(guī)格:
圓靶(直徑φ1"-φ14",厚度0.5-15mm)
板靶(長<500mm,寬<500mm,高<25mm)
管靶(外直徑φ3.0mm-φ300mm,內(nèi)直徑φ2.0mm-280mm)
材料純度:>99.995%
金屬雜質(zhì)含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平整度(TIR):<20μm
局部平整度(STIR):<10μm
翹曲度(Warp):<50μm
二、產(chǎn)品名稱:鈦靶材,鈦圓柱靶、鈦靶管
牌號:TA1,GR1
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):GB/T2695-1996,ASTM B348-97
用途:鈦靶材用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層,玻璃鍍膜工業(yè)等領(lǐng)域。
三、產(chǎn)品名稱:鎳靶材
牌號:N6, N4
用途:鎳靶材用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層,玻璃鍍膜工業(yè)等。
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