產(chǎn)品名稱:高純鋁靶材
高純鋁靶材是用于真空鍍膜行業(yè)濺射靶材中的一種,是高純鋁經(jīng)過(guò)系列加工后的產(chǎn)品,具有特定的尺寸和形狀高純鋁材料,安裝在真空鍍膜機(jī)上,濺射成膜。
1、用途
適用于直流二極濺射、三極濺射、四級(jí)濺射、射頻濺射、對(duì)向靶濺射、離子束濺射、磁控濺射等,可鍍制反光膜、導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體薄膜、電容器薄膜、裝飾膜、保護(hù)膜、集成電路、顯示器等,相對(duì)其它靶材,鋁靶材的價(jià)格較低,所以鋁靶材是在能滿足膜層的功能前提下的首選靶材料。
2、分類
鋁靶材有平面鋁靶材和旋轉(zhuǎn)鋁靶材之分平面鋁靶材是片狀的,有圓形、方形等。
旋轉(zhuǎn)鋁靶材是管狀的,利用效率高,但不易加工,要通過(guò)高純鋁擠壓、拉伸、校直熱處理,機(jī)加工等多種加工工序才能制得鋁旋轉(zhuǎn)靶材成品。
3、鋁靶材生產(chǎn)工藝流程